Magetron шашатын машина
-
Вакуумдық жұқа пленкалы магнетронды шашыратқыш қаптау машинасы
Вакуумдық магнетронды шашырату әдісі – катод бетінің дрейфінде электронның магнит өрісі бар әйел, биполярлы электрод бетін пайдалану, мақсатты беттік электр өрісін магнит өрісіне перпендикуляр орнату арқылы электронның соққысын арттырады, иондану жылдамдығын арттырады. газдың, ал жоғары энергетикалық бөлшектер газ және соқтығысудан кейін энергиясын жоғалтады және сондықтан төмен субстрат температурасы, температураға төзімді емес материалға толық жабу.
-
Вакуумдық тұндыру магнетронды шашырату жүйесі
Вакуумды тұндыру магнетронды шашыратқыш жүйесі - металл немесе функционалды жабындары бар әртүрлі шикізатқа жұқа қабықпен жабын қабаттарын жағу үшін қолданылатын вакуумдық жабдықтың бір түрі.
-
Пластмассадан бір рет қолданылатын ас құралдары үшін магнетрон бүрку машинасы
Магнетронды шашырату - қазіргі уақытта кеңінен қолданылатын жұқа қабықшаны тұндыру технологиясы.Шашырату технологиясының үздіксіз дамуы және жаңа функционалды қабықшалардың барлауымен магнетронды шашыратуды қолдану өндірістің және ғылыми зерттеулердің көптеген салаларына кеңейтілді.Микроэлектроника саласындағы термиялық емес жабын технологиясы ретінде ол негізінен өсу қиын және жарамсыз және алуға болатын материалдардың жұқа қабықшаларын тұндыру үшін химиялық буларды тұндыру (CVD) немесе металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) кезінде қолданылады. үлкен аумақтарда өте біркелкі жұқа қабықшалар.
