Кірістірілген шашырату жүйесі
-
Inline Magnetron Sputtering жүйесі
Inline Magnetron Sputtering жүйесі - бұл әртүрлі мақсаттарда жұмыс істейтін вакуумдық жұқа пленка тұндыру жабдығының бір түрі.Біздің шашырату желісінің ең көп таралған қолданбалары, соның ішінде:
Алюминий айна өндірісі
- ITO шыны жабыны
- Шағылысқан әйнек
- Тот баспайтын болаттан және шыныдан жасалған сәндік жабындар
Бұл жабын жүйесі жоғары класты вакуумды жабын қолданбалары үшін жарамды.Ол вакуумды жабын пленкаларының сапасын жақсарту үшін тұрақты жұмыс өнімділігін шығарады.
-
ITO шыны магнетронды шашатын жабын сызығы
ITO шыны магнетронды шашырату сызығы SO2/ITO қабатымен жоғары сапалы қалқымалы әйнекті жабу үшін вакуумдық магнетронды шашырату технологиясын және теңгерілмеген магнетронды шашырату технологиясын қолданады.Халықаралық озық бақылау жүйесіне негізделген.Бүкіл өндіріс процесі автоматты түрде және үздіксіз жұмыс істейді.
-
Алюминий айнасының кірістірілген магнетронды шашыратқыш сызығы
Алюминий айнасының кірістірілген магнетронды шашыратқыш сызығы шыны айна өндірісінің жоғары өнімділігіне арналған.Үлкенірек әйнекті жабу және нәзік шыны панельге күтім жасау үшін, әсіресе үлкен өлшемді парақтар үшін, әдетте, шашыратқыштың көлденең түрін жасаймыз.Бұл үздіксіз магнетронды жабу желісі, алдыңғы және артқы өрескел сорғы камерасы, және өтпелі камерадан кейін, жұқа сорғы камерасына дейін және кейін, буферлік камера, түсті бояу бөлмесі.
Мақсаты: цилиндрлік магнетронды шашыратқыш катодтар немесе/және жазық катодтар.
Қуат көзі: жоғары қуатты тұрақты ток немесе MF магнетронды шашырауы бар қуат көзі
Жетек жүйесі: роликті жетек, жиілікті реттелетін, индукциялық типтегі бөлме есігін ашу жүйесі.
Вакуум жүйесі: диффузиялық сорғы (немесе турбомолекулярлық сорғы) + тамыр сорғы + механикалық сорғы
