Inline Magnetron Sputtering жүйесі

Қысқаша сипаттама:

Inline Magnetron Sputtering жүйесі - бұл әртүрлі мақсаттарда жұмыс істейтін вакуумдық жұқа пленка тұндыру жабдығының бір түрі.Біздің шашырату желісінің ең көп таралған қолданбалары, соның ішінде:

Алюминий айна өндірісі

ITO шыны жабыны
Шағылысқан әйнек
Тот баспайтын болаттан және шыныдан жасалған сәндік жабындар

Бұл жабын жүйесі жоғары класты вакуумды жабын қолданбалары үшін жарамды.Ол вакуумды жабын пленкаларының сапасын жақсарту үшін тұрақты жұмыс өнімділігін шығарады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Кірістірілген магнетронды шашыратқыш қаптау машинасы негізінен тұрақты ток (немесе MF) магнетронды шашыратқыш жабын мақсаттардың кең ауқымына бейімделуі мүмкін, мысалы: мыс, титан, хром, тот баспайтын болат, никель және басқа металл материалдар, оларды тозаңдату процесі арқылы жабуға болады. пленканың адгезиясын, қайталануын, тығыздығын, біркелкілігін және басқа сипаттамаларын жақсарта алады.

а.Негізгі сипаттамалары мен параметрлері
б.көлденең сызық құрылымы бір жағынан қапталған бір уақытта жүзеге асырылуы мүмкін
в.өндіріс тиімділігі, 1 мин / соққыға дейінгі ең жылдам жылдамдық
d.модульдік дизайн, жеңіл техникалық қызмет көрсету
e.қаптау процесінің жетілуі, жоғары өнімділік
f.Тұрақты ток магнетронды шашыратқыш катодтар тұтынушы талаптарына байланысты әр түрлі болуы мүмкін
g.вакуумдық жүйе механикалық сорғыдан, тамыр сорғыларынан, диффузиялық сорғылардан (молекулалық сорғы) тұрады.
h.Сызықтың негізгі өлшемі тұтынушы талаптарына байланысты өзгеруі мүмкін

1) Вакуумдық камераның корпусының материалдарында SUS304 қолданылған, вакуумдық камераның қабырғасын жылтырату, сыртқы қабырғаға бүріккіш жылтырату моншақтарын өңдеу.
2) Вакуумдық камераның арасындағы тәуелсіз ысырма клапанын пайдалану - вентильді клапан бөлек, тиімді түрде кесуге, технологиялық газды тұрақтандыруға болады.Қазіргі уақытта біздің компания клапан клапанының дизайнын қабылдайды, ол қазіргі отандық жалпы клапанға қарағанда жақсырақ, ұзаққа созылады.
3) Трансмиссия магниттік бағыттағышты пайдаланады, жетектің тұрақтылығын қорғайды.VVVF қозғалтқыш жетегі арқылы бүкіл өндірістік желінің әрбір жылдамдығы үшін жұмыс жылдамдығын реттеуге болады.
4) Электрмен басқару жүйесі: сенсорлық экран және PLC автоматты басқару, деректерді көрсету жүйесіне, жұмыс параметрлеріне және басқару технологиясына қол жеткізу үшін адам-машина диалогы
1) Соңғы вакуумдық қысым: 6 × 1 0E-4 Па
2) орташа өндірістік цикл: анықталған өнім бойынша
3) Субстрат ұстағышының өлшемі: талаптарына сәйкес теңшеуге болады
4) Фильмнің біркелкілігі: ± 3% жетілдірілген мобильді өріс технологиясы мақсатты пайдалануды айтарлықтай жақсартты
Сегменттелген жылытқыштың дизайны процесті оңтайландыруға қолайлы.