Алюминий айнасының кірістірілген магнетронды шашыратқыш сызығы

Қысқаша сипаттама:

Алюминий айнасының кірістірілген магнетронды шашыратқыш сызығы шыны айна өндірісінің жоғары өнімділігіне арналған.Үлкенірек әйнекті жабу және нәзік шыны панельге күтім жасау үшін, әсіресе үлкен өлшемді парақтар үшін, әдетте, шашыратқыштың көлденең түрін жасаймыз.Бұл үздіксіз магнетронды жабу желісі, алдыңғы және артқы өрескел сорғы камерасы, және өтпелі камерадан кейін, жұқа сорғы камерасына дейін және кейін, буферлік камера, түсті бояу бөлмесі.

Мақсаты: цилиндрлік магнетронды шашыратқыш катодтар немесе/және жазық катодтар.

Қуат көзі: жоғары қуатты тұрақты ток немесе MF магнетронды шашырауы бар қуат көзі

Жетек жүйесі: роликті жетек, жиілікті реттелетін, индукциялық типтегі бөлме есігін ашу жүйесі.

Вакуум жүйесі: диффузиялық сорғы (немесе турбомолекулярлық сорғы) + тамыр сорғы + механикалық сорғы

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Негізгі ерекшеліктері

Алюминий айнасының кірістірілген магнетронды шашыратқыш сызығы әдетте шыны парақтардағы вакуумды жабуды аяқтау үшін бірнеше вакуумдық камералармен бірге келеді.
Негізгі ерекшеліктері:
1.Max.glass жабынының өлшемі: 2440x3660mm немесе теңшелген
2. Көп вакуумды камералар және көп шашыратқыш камералар дизайны бар
3. Көлденең магниттік басқару сызығы бір жақты және екі жақты құрылымға ие;әйнекті қосарлы тазалау, жабу, анықтау, бояу, кептіру, салқындату барлығын бір уақытта аяқтауға болады
4. Бүріккіш жабын желісі бүкіл процесті басқару үшін PLC пайдаланады және бояу процесі деректерін көрсету үшін түрлі-түсті экранмен жабдықталған.

Жабын қабаты: титан, хром, баспайтын болат, алюминий, күміс, мыс және т.б.

Қосылыс: TiN, TiO2 және т.б.
Қабат қалыңдығы: 5-100нм
Өткізу: 380-780 нм толқын ұзындығында 8-40%
Тұндыру температурасы: бөлме температурасы

8 сағаттық сорғыдан кейінгі шекті қысым:
Кіру құлпы камерасы және вакуумды құлыптау камерасы: 5×10-1 Па немесе одан төмен
Буферлік камера 1 : 3×10-3 Па немесе одан төмен
Шашырату камерасы: 2×10-3 Па немесе одан төмен
Буферлік камера 2 : 3×10-3 Па немесе одан төмен
Шығу құлыптау камерасы және вакуумды құлыптау камерасы: 5×10-1 Па немесе одан төмен