-Бір/екі есік
Рама мен камера көміртекті баспайтын болаттан жасалған.
Әрбір есік процесті визуалды бақылау үшін тексеру терезесін қамтамасыз етеді.Есік қабырғалары техникалық қызмет көрсету үшін оңай шешілетін тот баспайтын болаттан жасалған төсеммен қамтамасыз етеді.
- Жекелеген вакуумдық камера
Камера тазалау үшін тот баспайтын болаттан жасалған ішкі төсемдерді оңай алып тастауды қамтамасыз етеді.
Сорғылар оның артқы жағында тұрады.
Камерада өлшеуге арналған шағын фланецтер сериясы бар.
- Жоғары вакуумды сорғы жүйесі
Диффузиялық сорғы+Бостер сорғы+Механикалық сорғы
-Вакуумды өлшеу және бақылау
Металл Пирани калибрімен+металл ионизациясы өлшегішімен
- Арматураларды жылжыту жүйесі
-PLC басқару блогы
- Жоғары қуатты трансформаторы бар алюминий булану жүйесі
-Темір жақтау
Құрылым ақылға қонымды
Пленка қабаты біркелкі
Фильмді қалыптастыру сапасы
Жоғары айдау жылдамдығы, қысқа жұмыс циклі және жоғары өндіріс тиімділігі
Операция ыңғайлы
Төмен қуат тұтыну және тұрақты өнімділік
Модель нөмірі | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Екі есік немесе екі камералы модель бар | |
Вакуумдық камераның өлшемі (диаметр* биіктігі) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Вакуумдық камераның материалы | Көміртекті болат, SUS304 немесе SUS316L | ||||||
Жұмыс жасау технологиясы | вольфрам және алюминий жіптермен вакуумға төзімді булану, жоғары қуатты булану трансформаторы | ||||||
Сорғы жүйесі | Диффузиялық сорғы+механикалық сорғылар, күшейткіш сорғы | ||||||
Сорғылау уақыты | Атмосферадан 5,0*10-2Па дейін 8 минуттан аз | ||||||
Вакуум шегі | 5,0*10-4 Па | ||||||
Жұмыс температурасы | Бөлме температурасы | ||||||
Жұмыс режимі | Автоматты немесе қолмен режимі, 10,4 дюймдік PLC экранға тиеді | ||||||
Жалпы қуат | 40-80кВт | 70-140 кВт | |||||
Із | 2*2 метр | 2*3 метр | 3*3 метр | 3*3 метр | 3*4 метр | 4*5 метр | 5*6 метр |
Бұл қондырғыларды тапсырыс бойынша жасауға болады | 1. Вакуумдық камераның өлшемі 2. Сорғылардың конфигурациялары | ||||||
Қосымша құралдар | 1. Ағып кету детекторы 3. Доға иондарының тұндыру жүйесі 4. Магнтронды шашырату жүйесі |